年度	2008
全部作者	吳坤齡、顏炳華、黃豐元、陳美惠
論文名稱	應用化學機械拋光法於玻璃基板表面拋光之研究
會議名稱	中國機械工程學會第二十五屆全國學術研討會
地點	台灣Taiwan - 彰化 大村
著作人數	1
檔案	(csme2008-1229) 應用化學機械拋光法於玻璃基板表面拋光之研究-Final-main.pdf