年度	2019
全部作者	Jen-Ching Huang, Yaozeng Hu and Huail-Siang Liu
論文名稱	Study of ultrasound-assisted nanomachining on monocrystalline silicon
期刊名稱	Journal of Physics: Conference Series
卷數	1176
期數	0
論文類型	EI
發表日期	2019-04-01